快速测量薄膜材料的热导率的装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN201711130271.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107843616B | 公开（公告）日 | 2020-05-22 |
| 申请公布号 | CN107843616B | 申请公布日 | 2020-05-22 |
| 分类号 | G01N25/20 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 项晓东;武跃维;汪晓平 | 申请（专利权）人 | 宁波星河材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海一平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 姜龙;徐迅 |
| 地址 | 315000 浙江省宁波市宁波高新区聚贤路1299号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种快速测量薄膜材料的热导率的装置和方法，具体地，该装置包括控制设备、时钟同步器、激光器、快速测温仪以及热导率输出设备；控制设备和时钟同步器信号连接，时钟同步器同时与激光器和快速测温仪信号连接；在工作状态下，控制设备向时钟同步器发送启动信号，激光器和快速测温仪协调联动，激光器发出激光照射到样品表面，与此同时，快速测温仪捕捉在样品加热过程中不同时间点，同一指定位置的样品的表面温度，将测得的数据输入热导率输出设备，得到所需热导率参数。本发明的装置结构简单，方法高效准确，可为目前的各种超薄半导体薄膜热物性的设置提供可靠的参数数据。 |
