一种椭圆偏振光测量装置及测量方法
基本信息
| 申请号 | CN201710894030.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109270000B | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN109270000B | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | G01N21/21（2006.01）I;G01J4/04（2006.01）I;G01J4/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 汪晓平;陈良尧;项晓东 | 申请（专利权）人 | 宁波星河材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市智享知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王琴;蔺显俊 |
| 地址 | 315000浙江省宁波市高新区聚贤路1299号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种椭圆偏振光测量装置，其包括依次经光路连接的光源、起偏器、样品架、集成检偏器以及探测器组件；所述样品架用于放置待测样品，光源发出的光线经过起偏器照射到待测样品，待测样品将光反射到所述集成检偏器；所述集成检偏器包括多个偏振器，每个偏振器的方位角在0‑180°之间分布，从待测样品反射出来的光线入射到偏振器；所述探测器组件包括多个探测器，所述探测器与所述偏振器一一对应设置，独立检测每一偏振器的光学信号。本发明所提供的高速椭圆偏振光测量系统具有采样效率更高，可以快速获取偏振器接近纳秒级别的高速动态参数的优点，本发明还提供一种椭圆偏振光测量方法。 |
