一种高通量电子束组合材料蒸发系统及其方法
基本信息
| 申请号 | CN201910727547.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112342503A | 公开（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申请公布号 | CN112342503A | 申请公布日 | 2021-02-09 |
| 分类号 | C23C14/30(2006.01)I; | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 余应明;郭鸿杰;鲁森钱 | 申请（专利权）人 | 宁波星河材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海一平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐迅;唐雪娇 |
| 地址 | 315000浙江省宁波市宁波高新区宁波新材料创新中心东区1幢1号10-4-1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及真空镀膜系统领域，公开了一种高通量电子束组合材料蒸发系统及其方法。该高通量电子束组合材料蒸发系统包括：真空腔体，所述真空腔体设置为真空；电子束蒸发装置，设置于所述真空腔体下部；基片托架，设置于所述真空腔体上部，用于放置基片；连续掩膜装置和/或分立掩膜装置，设置于所述真空腔体上部，位于所述基片托架和所述电子束蒸发装置之间。本发明的高通量电子束组合材料蒸发系统，实现了高通量材料样品的制备，大大提高了组合材料样品的制备效率。 |
