PECVD设备无载板硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺腔室
基本信息
| 申请号 | CN202010940861.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111916383A | 公开（公告）日 | 2020-11-10 |
| 申请公布号 | CN111916383A | 申请公布日 | 2020-11-10 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨宝海;杨娜;潘家永;许伟伟;宋玉超;李轶军;李翔;李敦信;李义升 | 申请（专利权）人 | 营口金辰机械股份有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 | 代理人 | 营口金辰机械股份有限公司 |
| 地址 | 115000辽宁省营口市沿海产业基地新港大街95号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | PECVD设备无载板硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺腔室涉及太阳能电池设备技术领域，尤其涉及用于制造异质结太阳能电池的PECVD设备无载板硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺腔室。本发明提供一种不需要使用载板，成本低廉，提高产能的PECVD设备无载板的硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺腔室。本发明的无载板硅片传送机构，包括取片装置，其特征在于：取片装置底部设置有抓手。 |
