一种清除腔室碎片的装置及PECVD设备的碎片清除方法
基本信息
| 申请号 | CN202011367087.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112317456A | 公开（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申请公布号 | CN112317456A | 申请公布日 | 2021-02-05 |
| 分类号 | B08B6/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 杨宝海;德克.赫伯曼;杨娜;潘家永;许伟伟;宋玉超;乌维.赫伯曼;李轶军;李翔;李敦信;李义升 | 申请（专利权）人 | 营口金辰机械股份有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 | 代理人 | 周涛 |
| 地址 | 115000辽宁省营口市沿海产业基地新港大街95号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种清除腔室碎片的装置及PECVD设备的碎片清除方法涉及光伏设备制造技术领域，尤其涉及光伏用的板式PECVD设备和腔室碎片清除装置及碎片清除方法。本发明包括抓手装置、静电发生装置和碎片清除板，其特征在于：所述碎片清除板与静电发生装置相配合，所述抓手装置与碎片清除板相配合。 |
