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金线键压机用氮气供气系统

基本信息

申请号 CN201720130200.8 申请日 -
公开（公告）号 CN206480603U 公开（公告）日 2017-09-08
申请公布号 CN206480603U 申请公布日 2017-09-08
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 奚彼琳;唐东鹰;施展 申请（专利权）人 上海纪元微科电子有限公司
代理机构 北京纽乐康知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 陈兴强
地址 200031 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区郭守敬路351号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种金线键压机用氮气供气系统，至少包括键压机工作台底座，所述工作台底座上还设置有氮气进气孔和氮气出气孔，所述氮气进气孔与真空管道连接器上的氮气出气孔相对应，所述氮气出气孔与设置于所述工作台底座上的键压压板的进气孔相对应；所述氮气供气系统还包括用于自动控制氮气供应与断气之间的切换的电磁阀以及用于对氮气流量进行实时监控的流量计，所述电磁阀连接于工控机；所述流量计与所述工控机相连通形成一用于实施监控氮气流量的信号回路。本实用新型自动化程度高、质量稳定可靠、成本低。