石墨烯薄膜在转移中的化学除杂方法及其设备
基本信息
| 申请号 | CN201711142645.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108033444B | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN108033444B | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | C01B32/196（2017.01）I;C01B32/194（2017.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 李涛;张洪涛 | 申请（专利权）人 | 常州第六元素半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京世衡知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 肖淑芳;郝文博 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市惠山经济开发区长安工业园标准厂房中惠路518-5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种用于石墨烯薄膜在转移中的连续除杂方法、设备、及石墨烯传移方法，其中，所述设备包括：传动装置、化学腐蚀段、水洗段、减水段、及烘干段，所述传动装置贯穿于化学腐蚀段、水洗段、减水段、及烘干段，从传动装置的行走方向的上游到下游依次为化学腐蚀段、水洗段、减水段、及烘干段。 |
