一种传感器芯片标定测试调度方法及系统

基本信息

申请号 CN202011231388.8 申请日 -
公开(公告)号 CN112325920B 公开(公告)日 2021-11-23
申请公布号 CN112325920B 申请公布日 2021-11-23
分类号 G01D18/00;G05B19/418 分类 测量;测试;
发明人 崔小龙;范兆周;张辽;窦磊 申请(专利权)人 北京清大天达光电科技股份有限公司
代理机构 北京知呱呱知识产权代理有限公司 代理人 孙志一
地址 101200 北京市平谷区马坊镇金马北街61号院2号楼1至2层101
法律状态 -

摘要

摘要 本申请实施例公开了一种传感器芯片标定测试调度方法和系统,用于调度传感器标定线上多个传感器的芯片载板在多个芯片测试区同时进行标定测试,包括:多个测试区的标定测试是否完成,其它非测试区的芯片载板的工艺温度是否准备好,根据判断结果,决定是否将芯片载板送往下一个温区、以及是否送往下一个温区的某一个温箱。还提供了一种调度系统,能供确保芯片载板按照使用需求在不同温区的不同温箱停留并执行工艺动作,并且停留时间和每个芯片载板的位置信息实时可控可查。同时进行多个芯片标定作业,提高了标定线的生产效率、减少了整线的芯片载板数量冗余。