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一种分时复用的绝对式时栅直线位移传感器

基本信息

申请号	CN201911319857.9	申请日	-
公开（公告）号	CN113008119A	公开（公告）日	2021-06-22
申请公布号	CN113008119A	申请公布日	2021-06-22
分类号	G01B7/02	分类	测量；测试;
发明人	刘小康;蒲红吉;彭凯;王合文;黄沛	申请（专利权）人	重庆理工大资产经营管理有限责任公司
代理机构	重庆华科专利事务所	代理人	康海燕;唐锡娇
地址	400054 重庆市巴南区李家沱红光大道69号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种分时复用的绝对式时栅直线位移传感器，包括定尺和动尺，动尺包括动尺基体和感应电极Ⅰ、感应电极Ⅱ、反射电极，感应电极Ⅰ、Ⅱ为三测头的结构形式；定尺包括定尺基体和激励电极Ⅰ、激励电极Ⅱ、接收电极，激励电极Ⅰ的A1相激励信号引线与C1相激励信号引线组成双绞线、B1相激励信号引线与D1相激励信号引线组成双绞线，激励电极Ⅱ的A2相激励信号引线与C2相激励信号引线组成双绞线、B2相激励信号引线与D2相激励信号引线组成双绞线；双绞线的结构形式能减小干扰信号对测量精度的影响；三测头的结构形式，能增大耦合电容值，从而提高信噪比，并且对其输出信号进行数据融合，还可以有效地消除某些特定频率的谐波误差。