一种基于交变电场的绝对式时栅角位移传感器

基本信息

申请号 CN201810484178.6 申请日 -
公开(公告)号 CN109211095B 公开(公告)日 2019-07-19
申请公布号 CN109211095B 申请公布日 2019-07-19
分类号 G01B7/30;G01D5/244 分类 测量;测试;
发明人 刘小康;樊星辰;彭凯;郑方燕;于治成 申请(专利权)人 重庆理工大资产经营管理有限责任公司
代理机构 重庆华科专利事务所 代理人 康海燕;唐锡娇
地址 400054 重庆市巴南区李家沱红光大道69号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于交变电场的绝对式时栅角位移传感器,包括转子基体和定子基体,转子基体下表面设有独立的感应电极Ⅰ、感应电极Ⅱ,定子基体上表面设有独立的激励电极Ⅰ和激励电极Ⅱ,激励电极Ⅰ、Ⅱ的四个激励相分别输入四路激励信号,感应电极Ⅰ输出精测正弦行波信号Uo1,感应电极Ⅱ输出差动正弦行波信号Uo2,利用精测正弦行波信号Uo1计算精测角位移值,利用差动正弦行波信号Uo2计算粗测对极位置值,将精测角位移值与粗测对极位置值相结合得到绝对角位移值。该传感器能实现高精度的绝对角位移测量。