超临界流体制备高纯度硅的方法

基本信息

申请号 CN201910639067.2 申请日 -
公开(公告)号 CN112209381A 公开(公告)日 2021-01-12
申请公布号 CN112209381A 申请公布日 2021-01-12
分类号 C01B33/023(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 彭靖;马承愚;彭英利;周玉 申请(专利权)人 深圳市智合碳硅科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518109广东省深圳市龙华区龙华街道玉翠社区昌永路智和科技园5号203
法律状态 -

摘要

摘要 采用超临界水作为制备高纯硅的介质,在超临界状态(500‑600℃和25‑35MPa)下及氢气参与下,对同程进入反应系统的硅质原料进行处理,使硅材料中的微量杂质发生分离和还原反应,在较短时间内,杂质被去除,同时还原成为高纯度硅单质。制备过程中,超临界水与H2合理配合,在高温高压条件下和密闭的反应装置中形成均相的超临界混合流体,以极快速度(1‑3min)使硅原料发生溶解、还原、去杂、聚集和沉积分离过程,制备出高纯度晶体硅。