超临界流体制备高纯度硅的方法
基本信息
申请号 | CN201910639067.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112209381A | 公开(公告)日 | 2021-01-12 |
申请公布号 | CN112209381A | 申请公布日 | 2021-01-12 |
分类号 | C01B33/023(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 彭靖;马承愚;彭英利;周玉 | 申请(专利权)人 | 深圳市智合碳硅科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 518109广东省深圳市龙华区龙华街道玉翠社区昌永路智和科技园5号203 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 采用超临界水作为制备高纯硅的介质,在超临界状态(500‑600℃和25‑35MPa)下及氢气参与下,对同程进入反应系统的硅质原料进行处理,使硅材料中的微量杂质发生分离和还原反应,在较短时间内,杂质被去除,同时还原成为高纯度硅单质。制备过程中,超临界水与H2合理配合,在高温高压条件下和密闭的反应装置中形成均相的超临界混合流体,以极快速度(1‑3min)使硅原料发生溶解、还原、去杂、聚集和沉积分离过程,制备出高纯度晶体硅。 |
