一种颗粒状多晶硅杂质元素的检测采样装置
基本信息
| 申请号 | CN202123246359.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216746915U | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN216746915U | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | G01N1/10（2006.01）I;C30B13/14（2006.01）I;C30B13/20（2006.01）I;C30B13/28（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈斌;安红军;汪成洋;张孝山;史长岳;都强;甘易武;宗冰 | 申请（专利权）人 | 青海亚洲硅业半导体有限公司 |
| 代理机构 | 成都华风专利事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 810007青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种颗粒状多晶硅杂质元素的检测采样装置，属于多晶硅生产领域，本装置包括区熔炉（1）和设于区熔炉（1）中的采样装置，采样装置包括设于区熔炉（1）上部的移动上轴（2）、籽晶夹头（3）和籽晶（4）、设于区熔炉（1）下部的移动下轴（5）、颗粒硅载体（7）和颗粒硅（8），以及设于籽晶（4）与颗粒硅（8）之间的加热线圈（9）；移动下轴（5）的下端与区熔炉（1）底部连接，移动下轴（5）的上端与所述颗粒硅载体（7）连接，所述颗粒硅（8）设置于所述颗粒硅载体（7）中；本实用新型所述颗粒硅载体（7）为高纯多晶硅柱，使用多晶硅载体替代传统的石英试管或坩埚，避免采样过程中的二次污染，保证检测的准确性。 |
