一种氯硅烷检测样品的前处理系统
基本信息
| 申请号 | CN202122929768.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN217033263U | 公开（公告）日 | 2022-07-22 |
| 申请公布号 | CN217033263U | 申请公布日 | 2022-07-22 |
| 分类号 | G01N1/28（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 安军林;朱芙蓉;陈英春;陈英;曹岩德;魏东亮;邢成莉;姜涛 | 申请（专利权）人 | 青海亚洲硅业半导体有限公司 |
| 代理机构 | 成都华风专利事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 810007青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种氯硅烷检测样品的前处理系统，属于化工检测技术领域，包括低温吸收挥发装置，所述低温吸收挥发装置包括冷凝子装置和采样瓶（12），采样瓶（12）设于冷凝子装置中，采样瓶（12）输入端通入有氯硅烷样品。本实用新型通过冷凝子装置配合采样瓶得到氯硅烷样品的凝液，实现了低沸点、易挥发氯硅烷检测样品的前处理；整个前处理过程完全密封，一方面能够避免氯硅烷样品直接与空气接触；另一方面能够保证氯硅烷样品充分冷凝，进而从氯硅烷样品中获取检测样品，以此保证检测样品制备的准确性与可靠性。 |
