一种高纯多晶硅硅芯连接结构
基本信息
申请号 | CN202123267143.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216737604U | 公开(公告)日 | 2022-06-14 |
申请公布号 | CN216737604U | 申请公布日 | 2022-06-14 |
分类号 | C01B33/035(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 任长春;徐丽丽;王生红;鲍守珍;史正斌 | 申请(专利权)人 | 青海亚洲硅业半导体有限公司 |
代理机构 | 成都华风专利事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 810007青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种高纯多晶硅硅芯连接结构,包括石墨底座、石墨帽、底装硅芯和上装硅芯,所述石墨底座上设置有石墨帽,所述石墨帽内贯穿安装所述底装硅芯,所述底装硅芯的上部设置有所述上装硅芯;所述底装硅芯的高度高于石墨帽的高度。相较于现有技术中采用石墨卡瓣作为连接件,该连接方式生产的多晶硅产品在近石墨卡瓣位置碳含量较高(俗称碳头料),此部分产品品质较低,本实用新型通过底装硅芯与石墨底座(在石墨帽的作用下)直接固定整个硅芯(包括上装硅芯),可减少碳头料,实现高纯多晶硅的生产。 |
