一种高纯多晶硅硅芯连接结构

基本信息

申请号 CN202123267143.3 申请日 -
公开(公告)号 CN216737604U 公开(公告)日 2022-06-14
申请公布号 CN216737604U 申请公布日 2022-06-14
分类号 C01B33/035(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 任长春;徐丽丽;王生红;鲍守珍;史正斌 申请(专利权)人 青海亚洲硅业半导体有限公司
代理机构 成都华风专利事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 810007青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种高纯多晶硅硅芯连接结构,包括石墨底座、石墨帽、底装硅芯和上装硅芯,所述石墨底座上设置有石墨帽,所述石墨帽内贯穿安装所述底装硅芯,所述底装硅芯的上部设置有所述上装硅芯;所述底装硅芯的高度高于石墨帽的高度。相较于现有技术中采用石墨卡瓣作为连接件,该连接方式生产的多晶硅产品在近石墨卡瓣位置碳含量较高(俗称碳头料),此部分产品品质较低,本实用新型通过底装硅芯与石墨底座(在石墨帽的作用下)直接固定整个硅芯(包括上装硅芯),可减少碳头料,实现高纯多晶硅的生产。