含氟光致产酸剂及其制备方法与应用
基本信息
| 申请号 | CN202110872948.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113548988A | 公开（公告）日 | 2021-10-26 |
| 申请公布号 | CN113548988A | 申请公布日 | 2021-10-26 |
| 分类号 | C07C309/42（2006.01）I;C07C303/32（2006.01）I;C07C381/12（2006.01）I;C08F220/18（2006.01）I;C08F220/38（2006.01）I;C08F220/32（2006.01）I;C08F212/14（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 董其宝;符勇 | 申请（专利权）人 | 安徽庆润新材料技术有限公司 |
| 代理机构 | 合肥市浩智运专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 缪璐欢 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区望江西路5089号中国科技大学先进技术研究院嵌入式研发楼103-B1室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种含氟光致产酸剂，涉及光敏树脂合成技术领域，含氟光致产酸剂包括结构式E、结构式F所示的化合物中的一种或两种，或所述含氟光致产酸剂的结构式为结构式E或结构式F如下：本发明还提供上述本发明的含氟光致产酸剂的制备方法及应用。本发明的有益效果在于：本发明的含氟光致产酸剂及其光敏树脂在193nm处具有低吸收，较高的光学透明性；具有较高的热稳定性能。将产酸剂接枝到聚合物主链上与其他功能性的单体进行共聚，可以有效的降低相分离，防止产酸剂产生的H+向未曝光区域扩散，降低LER，提高感光度和分辨率，同时也具有较低的气体排放的优点。 |
