一种用于晶圆加工中的环保型底材
基本信息
| 申请号 | CN201910141988.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109760394A | 公开（公告）日 | 2019-05-17 |
| 申请公布号 | CN109760394A | 申请公布日 | 2019-05-17 |
| 分类号 | B32B27/32（2006.01）I; B32B27/08（2006.01）I; B32B27/06（2006.01）I; H01L21/304（2006.01）I | 分类 | 层状产品; |
| 发明人 | 夏枝巧; 朱秀梅 | 申请（专利权）人 | 上海百卡新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市科吉华烽知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海百卡新材料科技有限公司 |
| 地址 | 201400 上海市奉贤区南桥镇南桥路262号435室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于晶圆加工中的环保型底材，涉及晶圆加工领域，要解决的是晶圆加工的纵向横向扩张不均匀、晶圆切割时有塑胶丝污染晶圆等问题。本产品包括上层、中层和下层，所述上层的下表面与中层的上表面相贴合，中层的下表面与下层的上表面相贴合，上层、中层和下层采用三层共挤的工艺制作，上层、中层和下层均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。本产品设计合理，通过在上层和中层使用聚乙烯及聚丙烯的共聚物,既可以改善聚乙烯因软化点低造成丝状物的污染,亦可改善聚丙烯不具柔软性；本产品采用三层共挤的生产方法,精密的控制生产条件,采用流延的生产方法可以使得生产出的UV膜纵向及横向扩张(延伸)均匀，使用效果好。 |
