单晶生长炉内腔清洁设备
基本信息
申请号 | CN201210136908.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN102641877A | 公开(公告)日 | 2012-08-22 |
申请公布号 | CN102641877A | 申请公布日 | 2012-08-22 |
分类号 | B08B9/093(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
发明人 | 王跃刚;范凤仙 | 申请(专利权)人 | 浙江浙大圆正机电有限公司 |
代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人 | 张法高 |
地址 | 310053 浙江省杭州市滨江区东冠路611号金盛工业园2幢4单元 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种单晶生长炉内腔清洁设备。它包括基础板、升降组件、旋转组件、水喷洗组件,升降组件装在基础板上,旋转组件装在升降组件的升降支架上,水喷洗组件装在旋转组件的套筒轴上。它的主要特点是结构紧凑,运动灵活自如,臂杆能曲能伸,能上能下,360°圆周作业,用力均衡,擦拭均匀,在高压水射流从顶部五面喷射的配合下,清洁效果极佳。本发明设计简单,容易实现,也可以广泛应用于其它有清洁要求的设备及环境中。 |
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