一种单晶生长炉内腔清洁设备

基本信息

申请号 CN201220198767.6 申请日 -
公开(公告)号 CN202570701U 公开(公告)日 2012-12-05
申请公布号 CN202570701U 申请公布日 2012-12-05
分类号 B08B9/20(2006.01)I;B08B9/28(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 王跃刚;范凤仙 申请(专利权)人 浙江浙大圆正机电有限公司
代理机构 杭州求是专利事务所有限公司 代理人 张法高
地址 310053 浙江省杭州市滨江区东冠路611号金盛工业园2幢4单元
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单晶生长炉内腔清洁设备。它包括基础板、升降组件、旋转组件、水喷洗组件,升降组件装在基础板上,旋转组件装在升降组件的升降支架上,水喷洗组件装在旋转组件的套筒轴上。它的主要特点是结构紧凑,运动灵活自如,臂杆能曲能伸,能上能下,360°圆周作业,用力均衡,擦拭均匀,在高压水射流从顶部五面喷射的配合下,清洁效果极佳。本实用新型设计简单,容易实现,也可以广泛应用于其它有清洁要求的设备及环境中。