一种蓝宝石衬底铜抛-CMP抛光的自动化产线及生产方法
基本信息
| 申请号 | CN202210256476.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114695204A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114695204A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/306（2006.01）I;B24B29/02（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 胡中伟;王寒山;赖志远;陈悦;章玉强;于怡青;徐西鹏 | 申请（专利权）人 | 华侨大学 |
| 代理机构 | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 362000福建省泉州市城华北路269号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种蓝宝石衬底铜抛‑CMP抛光的自动化产线及生产方法。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、铜抛机、清洗机和CMP抛光机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入铜抛机，并能抓取铜抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入CMP抛光机，以及能抓取CMP抛光机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本发明利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。 |
