首页/ 芜湖致通汽车电子有限公司/ 专利详情

一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置

基本信息

申请号 CN202120568117.5 申请日 -
公开（公告）号 CN214672525U 公开（公告）日 2021-11-09
申请公布号 CN214672525U 申请公布日 2021-11-09
分类号 H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 孙拓夫;陈名佶;王彩英;奚君 申请（专利权）人 芜湖致通汽车电子有限公司
代理机构 北京中政联科专利代理事务所（普通合伙） 代理人 谢恺
地址 241000安徽省芜湖市衡山路35号汽车电子创业园A座8楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种高效型传感器单晶硅刻蚀装置，涉及刻蚀装置技术领域，包括装置外壳，所述装置外壳的顶部设置有风机，所述风机的出风口连通有风管。本实用新型，电机带动牵引轴进行转动，在牵引轴的转动下牵引绳能够拉动一个滚轮进行转动，当第一个滚轮开始转动时，衔接绳会拉动其他的滚轮进行转动，因此来达到对单晶硅本体在装置外壳的内部进行稳定传动的目的，使得装置能够对单晶硅本体进行稳定的刻蚀，提高了装置的实用性，在刻蚀过程中风机将风通过风管输送至装置外壳的内部，再由透风板输出，从而达到了风向的流通的目的，有利于装置在刻蚀过程中能够保持一个好的通风环境，提高了装置的工作效率，使得装置能够进行高效的对单晶刻蚀。