透明导电层的制备方法及发光二极管

基本信息

申请号 CN201910121630.7 申请日 -
公开(公告)号 CN109830586B 公开(公告)日 2020-08-07
申请公布号 CN109830586B 申请公布日 2020-08-07
分类号 H01L33/42 分类 -
发明人 李家安;廖峻尉;陈志豪;陈柏松;张国华 申请(专利权)人 芜湖德豪润达光电科技有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 芜湖德豪润达光电科技有限公司
地址 241000 安徽省芜湖市经济技术开发区纬二次路11号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种透明导电层的制备方法及发光二极管,通过第一混合溶液与第二混合溶液的调配,可以简单控制厚度。第二混合溶液通过水解和缩聚反应形成溶胶,进一步的聚合反应转变形成凝胶,并且通过退火热处理,除去凝胶中的剩余有机物和水分,从而可以获得致密、平整的结晶氮掺杂的氧化锌薄膜。因此,通过透明导电层的制备方法技术设备简单易操作,不需要任何真空条件或其他昂贵的设备,成本较低,所需温度低,减少对基材的热破坏。通过第二混合溶液容易获得所需要的均匀相多组分体系,易于实现定量掺杂,可以有效地控制薄膜的成分及结构,容易在各种不同形状、不同材料的衬底上制造大面积氮掺杂的氧化锌薄膜。