一种声学谐振器组件及滤波器
基本信息
| 申请号 | CN202010990291.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112187212A | 公开（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申请公布号 | CN112187212A | 申请公布日 | 2021-01-05 |
| 分类号 | H03H9/25(2006.01)I;H03H9/64(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李林萍;盛荆浩;江舟 | 申请（专利权）人 | 杭州星阖科技有限公司 |
| 代理机构 | 厦门福贝知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈远洋 |
| 地址 | 310016浙江省杭州市上城区钱江国际商务中心1416室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种声学谐振器组件及滤波器，声学谐振器组件包括至少两个相互垂直连接的声学谐振器，声学谐振器包括：分别设置在衬底上的声学镜、底电极层、压电层以及顶电极层，声学谐振器的有效区域由声学镜、底电极层、压电层和顶电极层的重叠部分定义，声学谐振器还包括支撑层，其设置在声学镜投影于衬底的区域外围的衬底或压电层上，至少两个相互垂直连接的声学谐振器通过在支撑层上进行连接。本发明加工的滤波器显著降低器件的体积65％以及面积40％，提升了设计自由度而降低设计难度，优化了工艺制程并提高工艺兼容性，增强了产品性能又大幅度降低成本。 |
