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布拉格声波反射层结构及其制作方法和固态装配谐振器

基本信息

申请号 CN202010858769.2 申请日 -
公开（公告）号 CN112152581A 公开（公告）日 2020-12-29
申请公布号 CN112152581A 申请公布日 2020-12-29
分类号 H03H3/02(2006.01)I 分类 基本电子电路;
发明人 李林萍;盛荆浩;江舟 申请（专利权）人 杭州星阖科技有限公司
代理机构 厦门福贝知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 陈远洋
地址 310016浙江省杭州市上城区钱江国际商务中心1416室
法律状态 -

摘要

摘要 公开了一种布拉格声波反射结构的制作方法，包括在衬底上制作由第一介质层和第二介质层依次叠加而成的反射层组；对反射层组中的第二介质层进行离子注入以增大第二介质层的声阻抗。还公开了一种利用上述方法制造而成的布拉格声波反射层结构，该布拉格反射层结构具有平坦的反射层，以及包括该布拉格声波反射层结构的固态装配谐振器，其还包括设置在布拉格声波反射层上的底电极层、压电层和顶电极层。该布拉格声波反射层结构的工艺无需使用蚀刻以及CMP工艺，成本大幅减少，利用离子注入的工艺在制备高质量的高声阻抗介质反射层的同时未被注入区域因具有绝缘性抑制了寄生电容的产生，且能够获得高频率和超高频率的声波谐振器的反射层。