一种体声波谐振器的制造工艺方法和体声波谐振器
基本信息
| 申请号 | CN202011024256.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112202415B | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN112202415B | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李林萍;盛荆浩;江舟 | 申请（专利权）人 | 杭州星阖科技有限公司 |
| 代理机构 | 厦门福贝知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈远洋 |
| 地址 | 310016 浙江省杭州市上城区钱江国际商务中心1416室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种体声波谐振器的制造工艺方法，包括在衬底上制作声反射镜，在衬底上制作用于覆盖声反射镜的底电极层；对底电极层的外围部分进行化学处理以形成改性层，改性层环绕底电极层；在底电极层上制作压电层；在压电层上制作顶电极层。还公开了一种体声波谐振器，包括衬底、形成在衬底上的声反射镜以及依次形成具有声反射镜的衬底上的底电极层、压电层和顶电极层，其中底电极层的临近声反射镜的边缘的部分被化学处理以形成改性层。凭借改性层的形成削弱或消除了有效工作区域外电极之间的电场强度，电极无法激励其间的压电层产生机械波而抑制了谐振器寄生振荡，同时大大简化了顶电极的布线。 |
