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一种体声波谐振器及其制作方法

基本信息

申请号	CN202110598312.7	申请日	-
公开（公告）号	CN113346864A	公开（公告）日	2021-09-03
申请公布号	CN113346864A	申请公布日	2021-09-03
分类号	H03H9/17（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I	分类	基本电子电路;
发明人	李林萍;盛荆浩;江舟	申请（专利权）人	杭州星阖科技有限公司
代理机构	厦门福贝知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	陈远洋
地址	310016浙江省杭州市上城区钱江国际商务中心1416室
法律状态	-

摘要

本申请公开了一种体声波谐振器，包括衬底和设置在衬底上的谐振功能层，谐振功能层与衬底包围形成谐振腔，谐振功能层包括依次形成在衬底上的底电极层、压电层和顶电极层，还包括在谐振腔周边形成的释放腔，释放腔与谐振腔位于不同平面且相互错位连通。还公开了一种用于体声波谐振器的制作方法，在衬底的表面上制作一个或多个凹槽，沉积牺牲材料以填充凹槽并在衬底表面形成至少覆盖凹槽之间的衬底表面和部分凹槽牺牲层，依次形成底电极、压电层和顶电极层，利用释放药液经由从底电极层未覆盖区域穿过压电层以到达凹槽对应位置释放孔释放牺牲材料。本申请避免了牺牲层释放过程中应力突变的问题，空腔结构稳定性和器件谐振性能的一致性得到显著提升。