一种用于镀膜机腔体中的防护机构
基本信息
| 申请号 | CN201921124639.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210620925U | 公开（公告）日 | 2020-05-26 |
| 申请公布号 | CN210620925U | 申请公布日 | 2020-05-26 |
| 分类号 | C23C14/34 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 唐志强;姜钧 | 申请（专利权）人 | 承德奥斯力特电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京方韬法业专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 承德奥斯力特电子科技有限公司 |
| 地址 | 067000 河北省承德市平泉市平泉镇四合园村17组 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于镀膜机腔体中的防护机构，包括由一类防护板和二类防护板围成的可拆卸的防护箱，一类防护板上开设有与靶材面相对的通孔，二类防护板上开设有与导轨相对应且贯通的缺口。还包括设置在靶材与一类防护板之间的防护通道、设置在导轨上的导轨防护罩，以及限位板。本实用新型通过设置可拆卸的防护箱，并在防护箱侧壁上分别设置相应的通孔和缺口，能实现既不影响镀膜工作的顺利进行，又能将溅射金属拦截在该防护箱内侧，方便清理，利于回收贵重金属，实现资源再利用。还通过加设防护通道和导轨防护罩，能进一步加强防护效果。还通过设置限位板，方便防护箱的拆装。该防护机构结构简单、易于拆装，防护效果好，节能环保。 |
