高效上下料系统
基本信息
| 申请号 | CN202011459386.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112722832A | 公开（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申请公布号 | CN112722832A | 申请公布日 | 2021-04-30 |
| 分类号 | B65G47/91 | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 毛善高;邢莹;杜斌伟;吕磊;周豪;胡晓霞 | 申请（专利权）人 | 三河建华高科有限责任公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 065201 河北省廊坊市燕郊开发区工业大街北侧、凌仁羊绒公司西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了高效上下料系统，包括：四组检测设备，四组所述检测设备上均设置有检测台，四组所述检测设备之间固定连接连接有放料台，所述放料台上固定连接有四组与检测台位置相适配的放料盘；上下料机械手机构，所述上下料机械手机构用于同时对四组检测设备进行服务。此高效上下料系统，通过设置了上下料机械手机构，使得传统的探针测试台工作效率低下且浪费机械手资源的问题得到了解决，有效地提高了工作效率，通过设置了驱动装置，使得升降装置和旋转机构可同时工作又可以分开工作，有效节省了不必要的动力资源浪费，通过设置了旋转机构，使得机械手在对晶圆进行上下料时性能更加优化，有效地提高了实用性。 |
