一种超级背封品再腐蚀的工艺方法
基本信息
| 申请号 | CN201711308405.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108172499B | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN108172499B | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | H01L21/02;H01L21/311;H01L21/3213 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马爱;贺贤汉;施炜青;张松江 | 申请（专利权）人 | 上海申和热磁电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海顺华专利代理有限责任公司 | 代理人 | 顾雯 |
| 地址 | 200444 上海市宝山区山连路181号1幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种超级背封品再腐蚀的工艺方法，包括如下步骤：（A）采用氨水和双氧水混合液对超级背封品清洗两次，去除表面颗粒和有机物污染物；（B）采用HNO3、HF以及CH3COOH组成的化学腐蚀药液对步骤（A）中的超级背封品腐蚀8～15秒；（C）采用四甲基氢氧化铵和聚氧乙烯二苯醚混合液洗净步骤（B）中的产品，去除化学腐蚀残留的药液、有机物及金属沾污；（D）将步骤（C）中的产品倾斜放置在体积分数为3～17.8的HF溶液中4～7min后，采用纯水溢流两次后甩干，得到再腐蚀后产品。 |
