一种晶圆自动清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202110857060.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113477599A | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN113477599A | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I;B08B1/04（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 贺贤汉;杉原一男;佐藤泰幸;原英樹 | 申请（专利权）人 | 上海申和热磁电子有限公司 |
| 代理机构 | 铜陵市天成专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 李坤 |
| 地址 | 201900上海市宝山区宝山城市工业园区山连路181号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆自动清洗装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括箱体、过滤箱、电机、底座，箱体上设有操作板，操作版下侧设有插入孔，箱体一侧固定设有过滤箱，电机输出轴固定连接有均匀排列的连接杆，连接杆上通过关节连接有摆动柱，输出轴顶端固定设有与连接杆相匹配的固定架，过滤箱通过水泵连接有水管，水管上设有水阀，水管另一端固定设有加粗管，加粗管另一端固定连接有喷淋头，加粗管内设有旋转柱，且旋转柱上均匀的设有螺旋桨，旋转柱固定连接有毛刷盘，毛刷盘上设有毛刷。本发明结构简单，便于操作，能够对晶圆自动清洗，在清洗的过程中防止吸盘对清洗后的晶圆污染，且清洗全面，能够在清洗的时候对晶圆进行刷洗，适合推广。 |
