一种电子级多晶硅生产用氢气提纯的方法
基本信息
| 申请号 | CN202110748209.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113233420B | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN113233420B | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | C01B3/56（2006.01）I;C01B3/04（2006.01）I;C01B25/02（2006.01）I;C01B33/03（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 吴锋;田新;吴鹏 | 申请（专利权）人 | 新津腾中筑路机械有限公司 |
| 代理机构 | 北京锦信诚泰知识产权代理有限公司 | 代理人 | 倪青华 |
| 地址 | 221004江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于多晶硅制备技术领域，具体涉及一种电子级多晶硅生产用氢气提纯的方法。其主要技术方案如下：CVD工艺系统中的尾气经尾气分离，分离后得到的粗提纯氢气进入到活性炭吸附塔系统中进行磷化氢的吸附，再经过CVD前氢气处理系统的处理得到的高纯氢气，高纯氢气回到气相沉积工艺体系中重新使用。本发明提供的一种电子级多晶硅生产用氢气提纯的方法，采用负载活性炭和CVD前氢气处理系统对粗提纯氢气进行两级纯化，对磷化氢进行针对性的脱除，大幅提高循环氢气的纯度；且负载活性炭对粗提纯氢气进行先行纯化，初步脱除大部分磷化氢，减小CVD前氢气处理系统对磷化氢的处理量，在保证氢气纯度的同时，减少设备成本。 |
