评估袋装多晶硅干燥效果的方法

基本信息

申请号 CN202111197335.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113865288A 公开(公告)日 2021-12-31
申请公布号 CN113865288A 申请公布日 2021-12-31
分类号 F26B9/06(2006.01)I;F26B21/12(2006.01)I;F26B21/14(2006.01)I;F26B25/00(2006.01)I;F26B25/22(2006.01)I 分类 干燥;
发明人 吴家印;徐玲锋;孙志东 申请(专利权)人 新津腾中筑路机械有限公司
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 尚伟净
地址 221004江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了评估袋装多晶硅干燥效果的方法。该方法包括:提供露点仪;将氮气进气管路连接至露点仪,对露点仪内气氛进行置换;在袋装多晶硅样品上设置进气口和出气口,将氮气进气管路连接至进气口,在出气口设置连接至露点仪的管路;利用氮气进气管路,经过袋装多晶硅样品向露点仪通入氮气,并测定得到氮气的露点值;根据氮气的露点值,评估袋装多晶硅样品的干燥效果。该方法可以准确评估袋装多晶硅干燥效果,并对袋装多晶硅中的水分含量进行定量分析。