评估袋装多晶硅干燥效果的方法
基本信息
申请号 | CN202111197335.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113865288A | 公开(公告)日 | 2021-12-31 |
申请公布号 | CN113865288A | 申请公布日 | 2021-12-31 |
分类号 | F26B9/06(2006.01)I;F26B21/12(2006.01)I;F26B21/14(2006.01)I;F26B25/00(2006.01)I;F26B25/22(2006.01)I | 分类 | 干燥; |
发明人 | 吴家印;徐玲锋;孙志东 | 申请(专利权)人 | 新津腾中筑路机械有限公司 |
代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 尚伟净 |
地址 | 221004江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了评估袋装多晶硅干燥效果的方法。该方法包括:提供露点仪;将氮气进气管路连接至露点仪,对露点仪内气氛进行置换;在袋装多晶硅样品上设置进气口和出气口,将氮气进气管路连接至进气口,在出气口设置连接至露点仪的管路;利用氮气进气管路,经过袋装多晶硅样品向露点仪通入氮气,并测定得到氮气的露点值;根据氮气的露点值,评估袋装多晶硅样品的干燥效果。该方法可以准确评估袋装多晶硅干燥效果,并对袋装多晶硅中的水分含量进行定量分析。 |
