一种三氯硅烷的检测前处理方法、装置、检测方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202110905705.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113533600A | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN113533600A | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | G01N30/06（2006.01）I;G01N30/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张天雨;任天令;田新;吴鹏 | 申请（专利权）人 | 新津腾中筑路机械有限公司 |
| 代理机构 | 北京锦信诚泰知识产权代理有限公司 | 代理人 | 倪青华 |
| 地址 | 221004江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及检测系统技术领域，尤其涉及一种三氯硅烷的检测前处理方法，常温下，将液态的三氯硅烷喷洒入对氢气进行存储的第一空间内；对第一空间进行压缩，第一空间内的气体向第二空间内流动，且流动过程中保持对第一空间的持续增压状态；当第一空间内的压力增大至第二设定值时，对第二空间进行压缩；第一空间内的气体完成向第二空间内的流通，且第二空间内的压力增大至第一设定值前，完成三氯硅烷的气化。通过本发明使得三氯硅烷可获得均匀的气相而进入到气象色谱仪中，有效降低了设备的损坏几率，通过对三氯硅烷的精准检测，可保证电子级多晶硅的质量得到有效保证，本发明中还请求保护一种三氯硅烷的检测前处理装置、检测方法及装置。 |
