一种耦合器和真空镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN201822226884.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209294532U | 公开（公告）日 | 2019-08-23 |
| 申请公布号 | CN209294532U | 申请公布日 | 2019-08-23 |
| 分类号 | F16K31/122（2006.01）I; C23C14/22（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 张国豪; 高文波 | 申请（专利权）人 | 深圳市生波尔机电设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 深圳市生波尔机电设备有限公司;广东生波尔光电技术有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道莹展工业园B5栋南面一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种耦合器及真空镀膜设备，其中，该耦合器包括对接座板组件、管道组件以及驱动机构；对接座板组件包括两相对设置的第一对接座板和第二对接座板，第一对接座板上开设有第一管孔，第二对接座板上对应第一管孔开设有第二管孔；管道组件包括自第一管孔的边缘向背离第二对接座板的方向延伸形成的第一管道、自第二管孔的边缘向背离第一对接座板的方向延伸形成的第二管道，且第二管道包括可沿轴向伸缩的波纹管段；驱动机构包括驱动轴，驱动轴与第二对接座板连接，以驱动第二对接座板朝向第一对接座板运动，实现第一对接座板与第二对接座板密封贴合连接。本实用新型的技术方案可提高真空镀膜设备的管道通断便利性。 |
