倾斜式真空磁控连续生产线和真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201320243235.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203360568U | 公开（公告）日 | 2013-12-25 |
| 申请公布号 | CN203360568U | 申请公布日 | 2013-12-25 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 谢建军 | 申请（专利权）人 | 深圳市生波尔机电设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 深圳市生波尔机电设备有限公司;深圳市生波尔光电技术有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山新区深圳出口加工区2号路达新小区A栋厂房第一层西 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种倾斜式真空磁控连续生产线，包括机架和安装在该机架上的真空室体，真空室体包括依次顺序相连的两个前缓冲室、镀膜室和两个后缓冲室，机架上还安装有贯穿上述真空室体的传送带，传送带将其上携带有基片的金属框送入前缓冲室前缓冲处理、再送至镀膜室镀膜，最后在后缓冲室内后缓冲处理后从真空室体内送出；金属框的框体与水平方向呈一4-150倾斜角度。采用本实用新型的倾斜式真空磁控连续生产线，在基片镀膜处理的过程中，载有基片的金属框始终保持与水平方向呈4-150的倾斜角度，放置在金属框上的基片可以无需夹具而直接靠放在金属框侧壁内，所有装片便捷快速，且生产中无夹具印，很容易实现机械手全自动上下片。 |
