连续式真空蒸发镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201310196857.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103290364B | 公开（公告）日 | 2015-11-18 |
| 申请公布号 | CN103290364B | 申请公布日 | 2015-11-18 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘潺 | 申请（专利权）人 | 深圳市生波尔机电设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 深圳市生波尔机电设备有限公司;广东生波尔光电技术有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山新区深圳出口加工区2号路达新小区A栋厂房第一层西 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种连续式真空蒸发镀膜装置，包括：镀膜室、工件架和膜料架；镀膜室一端连通第一过渡室，另一端连通第二过渡室；第一过渡室、镀膜室、第二过渡室内分别设有第一轨道和第二轨道；第一过渡室两端和第二过渡室两端分别设有插板阀；第一过渡室、镀膜室、第二过渡室分别配置有独立的抽气系统。本发明所提供的装置运行中，除了工件架和膜料的装卸采用人工外，其他操作由装置自动完成，大大提高了镀膜效率，保证了产品膜层的一致性。同时镀膜室内可保持高真空状态，杂质气体少，可有效地防止膜料蒸气被杂质气体污染，从而可以获得品质更优的膜层。 |
