一种改善连续生产线镀膜温度的装置和真空镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN201822244617.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209722284U | 公开（公告）日 | 2019-12-03 |
| 申请公布号 | CN209722284U | 申请公布日 | 2019-12-03 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）; C23C14/50（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李小彭; 高文波 | 申请（专利权）人 | 深圳市生波尔机电设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 胡海国 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道莹展工业园B5栋南面一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种改善连续生产线镀膜温度的装置和真空镀膜设备，该改善连续生产线镀膜温度的装置安装于放置有镀膜基片的镀膜室中，包括冷水板、冷水组件以及隔热屏；以面向所述镀膜基片的板面为正面方向，所述冷水板具有相对设置的正板面以及背板面；所述冷水组件包括间隔叠设于所述冷水板正板面的基板、以及安装于所述基板上的冷水管，所述冷水管具有连通冷却水的入水端和供所述冷却水流出的出水端，出水端和入水端穿过冷水板的边缘而与镀膜室的内壁可拆卸连接；所述隔热屏间隔叠设于所述冷水组件上，且所述隔热屏上放置有所述镀膜基片。本实用新型的技术方案可提高对镀膜基片的冷却效果，且结构简单、拆卸方便。 |
