一种离子刻蚀直线微调机构及其制造方法
基本信息
申请号 | CN202111626138.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114310018A | 公开(公告)日 | 2022-04-12 |
申请公布号 | CN114310018A | 申请公布日 | 2022-04-12 |
分类号 | B23K31/02(2006.01)I;B23K37/04(2006.01)I | 分类 | 机床;不包含在其他类目中的金属加工; |
发明人 | 唐志强 | 申请(专利权)人 | 绍兴奥美电子科技有限公司 |
代理机构 | 杭州六方于义专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 尹科峰 |
地址 | 312500浙江省绍兴市新昌县七星街道省级高新技术园区内新涛路69号美盛文化6号厂房(住所申报) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种离子刻蚀直线微调机构及其制造方法,机构包括底座、调节电机、调节螺杆和调节块,调节电机固定在底座上,调节电机与调节螺杆相连接,调节块位于调节螺杆上,调节块的一侧连接有导向滑块,导向滑块上设置有第一T型槽,第一T型槽内贯穿连接有导向板,且导向滑块通过紧定螺钉与导向板限位固定。方法步骤如下:(1)部件加工;(2)焊接固定;(3)部件组装。本发明结构设计合理,实用性强,通过该微调机构实现直线方向的精准调节,使用操作方便且自动化,精确控制调节微调的距离,确保移动调节到位后的结构稳固性,有效防止调节定位后的误操作导致移动距离出现误差。 |
