一种离子刻蚀直线微调机构及其制造方法

基本信息

申请号 CN202111626138.9 申请日 -
公开(公告)号 CN114310018A 公开(公告)日 2022-04-12
申请公布号 CN114310018A 申请公布日 2022-04-12
分类号 B23K31/02(2006.01)I;B23K37/04(2006.01)I 分类 机床;不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 唐志强 申请(专利权)人 绍兴奥美电子科技有限公司
代理机构 杭州六方于义专利代理事务所(普通合伙) 代理人 尹科峰
地址 312500浙江省绍兴市新昌县七星街道省级高新技术园区内新涛路69号美盛文化6号厂房(住所申报)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种离子刻蚀直线微调机构及其制造方法,机构包括底座、调节电机、调节螺杆和调节块,调节电机固定在底座上,调节电机与调节螺杆相连接,调节块位于调节螺杆上,调节块的一侧连接有导向滑块,导向滑块上设置有第一T型槽,第一T型槽内贯穿连接有导向板,且导向滑块通过紧定螺钉与导向板限位固定。方法步骤如下:(1)部件加工;(2)焊接固定;(3)部件组装。本发明结构设计合理,实用性强,通过该微调机构实现直线方向的精准调节,使用操作方便且自动化,精确控制调节微调的距离,确保移动调节到位后的结构稳固性,有效防止调节定位后的误操作导致移动距离出现误差。