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一种微电子行业废磷酸资源化利用方法

基本信息

申请号 CN202011408374.9 申请日 -
公开（公告）号 CN112574069A 公开（公告）日 2021-03-30
申请公布号 CN112574069A 申请公布日 2021-03-30
分类号 C07C275/02(2006.01)I;C07C273/16(2006.01)I;C07C273/02(2006.01)I 分类 有机化学〔2〕;
发明人 李洋;卢正杰;程龙 申请（专利权）人 上海天汉环境资源有限公司
代理机构 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 代理人 冯振华
地址 201306上海市浦东新区南汇新城镇沧海路2865号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种微电子行业废磷酸资源化利用方法，涉及液晶面板、半导体晶圆、集成电路企业电子级废磷酸资源化制备工业级磷酸脲的方法。包含以下步骤：(1)废磷酸与尿素升温反应合成；(2)磷酸脲配置液静态吸附通过活性炭、阳离子交换树脂、阴离子交换树脂；(3)去离子磷酸脲溶液负压蒸发浓缩冷却结晶分离；(4)一次结晶加水升温重溶再冷却重结晶；(5)低温热风干燥重结晶晶体。本发明与现有电子级废磷酸降级使用相比，能够得到高纯度磷酸脲产品，具有较高的工业价值，具有广阔的市场应用前景。本发明全处理过程操作简单、投入试剂廉价、副产废物满足一般生化废水站要求，是电子级废磷酸资源化利用的最优选择。