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一种氧化铈颗粒及含其的抛光浆料

基本信息

申请号 CN202110004086.5 申请日 -
公开（公告）号 CN112723405A 公开（公告）日 2021-04-30
申请公布号 CN112723405A 申请公布日 2021-04-30
分类号 C01F17/235;C01F17/10;C09G1/02;B82Y30/00;B82Y40/00 分类 无机化学;
发明人 王溯;蒋闯;马丽;寇浩东;孙涛;章玲然;张德贺;秦长春 申请（专利权）人 上海晖研材料科技有限公司
代理机构 上海弼兴律师事务所 代理人 王卫彬;何敏清
地址 201616 上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种氧化铈颗粒及含其的抛光浆料。具体公开了一种氧化铈颗粒，所述氧化铈颗粒的前驱体材料的第一颗粒尺寸为200‑500μm；所述氧化铈颗粒的拉曼光谱包含在458cm‑1处的峰和583cm‑1处的峰，且其中在458cm‑1处的峰的强度与在583cm‑1处的峰的强度的比率为峰比率，所述氧化铈颗粒的峰比率为70‑90。本发明还公开了一种抛光浆料，所述抛光浆料包含所述氧化铈颗粒。本发明通过控制氧化铈颗粒的颗粒峰比率、氧化铈颗粒的前驱体材料的颗粒尺寸在一定范围内，使得应用于STI的CMP制程时，具有优良的移除速率和选择性，且具有不引起微划痕或使微划痕数量最小化的能力。