一种表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液
基本信息
| 申请号 | CN202110003324.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112662202A | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112662202A | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | C09C1/00;C09C3/10;C09C3/12;C09C3/06;C09G1/02;C09K3/14 | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 王溯;马丽;蒋闯;张德贺;章玲然;孙涛;秦长春;寇浩东 | 申请（专利权）人 | 上海晖研材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海弼兴律师事务所 | 代理人 | 王卫彬;何敏清 |
| 地址 | 201616 上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液。表面改性的氧化铈由氧化铈经如式I所示的改性剂改性得到。本发明表面改性的氧化铈颗粒可用作CMP磨粒，经表面改性后可降低氧化铈磨料的团聚，提高其在水中的分散性能并应用于化学机械抛光中，改善抛光后工件的表面质量。含有本发明表面改性的氧化铈的抛光液在氧化硅膜和氮化硅膜之间的抛光选择比较高，沟槽部的碟陷Dishing量较低，粗糙度均方根值RMS小。 |
