一种表面改性的氧化铈颗粒作为抛光液磨粒的应用
基本信息
| 申请号 | CN202110010185.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112778911A | 公开（公告）日 | 2021-05-11 |
| 申请公布号 | CN112778911A | 申请公布日 | 2021-05-11 |
| 分类号 | C09G1/02;C09C1/00;C09C3/12;H01L21/3105 | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 王溯;马丽;蒋闯;秦长春;章玲然;孙涛;张德贺;寇浩东 | 申请（专利权）人 | 上海晖研材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海弼兴律师事务所 | 代理人 | 王卫彬;何敏清 |
| 地址 | 201616 上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种表面改性的氧化铈颗粒作为抛光液磨粒的应用。表面改性的氧化铈颗粒由氧化铈经如式I所示的改性剂改性得到。本发明的抛光液在氧化硅膜和氮化硅膜之间的抛光选择比较高，沟槽部的碟陷Dishing量较低，粗糙度均方根值RMS小。 |
