一种表面改性的二氧化硅作为磨粒的应用
基本信息
| 申请号 | CN202110003364.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112680185A | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN112680185A | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01)I | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 王溯;蒋闯;马丽;孙涛;章玲然;秦长春;张德贺;寇浩东 | 申请（专利权）人 | 上海晖研材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海弼兴律师事务所 | 代理人 | 王卫彬;陈卓 |
| 地址 | 201616上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种表面改性的二氧化硅作为磨粒的应用。本发明提供了一种表面改性的二氧化硅作为磨粒的应用，其特征在于，所述表面改性的二氧化硅由下述制备方法制备得到：在溶剂中，将二氧化硅与硅烷偶联剂反应，得到表面改性的二氧化硅；所述的硅烷偶联剂为八氨苯基‑POSS和/或八氯丙基‑POSS。所述表面改性的二氧化硅能极大提高多晶硅相对于硅氮化物的研磨选择性，提升对含Si材料的研磨速率，并且显著提高对钌的研磨速率。 |
