一种制备表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液的方法
基本信息
| 申请号 | CN202110003323.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112778970A | 公开（公告）日 | 2021-05-11 |
| 申请公布号 | CN112778970A | 申请公布日 | 2021-05-11 |
| 分类号 | C09K3/14;C09C1/00;C09C3/12;C09G1/02;H01L21/311 | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 王溯;蒋闯;马丽;寇浩东;孙涛;章玲然;张德贺;秦长春 | 申请（专利权）人 | 上海晖研材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海弼兴律师事务所 | 代理人 | 王卫彬;何敏清 |
| 地址 | 201616 上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液的方法。表面改性的氧化铈颗粒的制备方法包括如下步骤，在如式I所示的改性剂的作用下，将氧化铈进行改性，得表面改性的氧化铈颗粒。本发明制备方法制备得到的改性氧化铈颗粒能够作为抛光液的磨粒，其能选择性抛光氧化硅膜，且抛光后表面粗糙度小。 |
