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一种氧化铈颗粒的制备方法

基本信息

申请号	CN202110004090.1	申请日	-
公开（公告）号	CN112758974A	公开（公告）日	2021-05-07
申请公布号	CN112758974A	申请公布日	2021-05-07
分类号	B82Y40/00(2011.01)I;C01F17/235(2020.01)I;C09K3/14(2006.01)I	分类	无机化学;
发明人	王溯;马丽;蒋闯;孙涛;章玲然;秦长春;张德贺;寇浩东	申请（专利权）人	上海晖研材料科技有限公司
代理机构	上海弼兴律师事务所	代理人	王卫彬;何敏清
地址	201616上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种氧化铈颗粒的制备方法，其包括以下步骤：氧化铈颗粒的前驱体材料经固体生成步骤制得二氧化铈粉末，将所述二氧化铈粉末与水混合，研磨，得含所述氧化铈颗粒的浆料；所述氧化铈颗粒的前驱体材料的第一颗粒尺寸为200‑500μm；所述氧化铈颗粒的拉曼光谱包含在458cm‑1处的峰和583cm‑1处的峰，且其中在458cm‑1处的峰的强度与在583cm‑1处的峰的强度的比率为峰比率，所述氧化铈颗粒的峰比率为70‑90。本发明通过控制氧化铈颗粒的颗粒峰比率、氧化铈颗粒的前驱体材料的颗粒尺寸在一定范围内，使得应用于STI的CMP制程时，具有优良的移除速率和选择性，且具有不引起微划痕或使微划痕数量最小化的能力。