一种真空镀膜用基片载架夹持装置
基本信息
| 申请号 | CN202022556962.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213507181U | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN213507181U | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李健;孙宏宇;邓天容 | 申请（专利权）人 | 江西华派光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 341800江西省赣州市全南县工业园二区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜用基片载架夹持装置，包括顶板，顶板下方两侧对称安装着两个侧板，所述侧板包括连接到顶板的导向块和与导向块平行的限位块，导向块上安装有定位柱，定位柱的数量不小于两个，定位柱穿过导向块，定位柱上安装着连接板，连接板位于靠近限位块的一侧，定位柱上安装有复位弹簧，复位弹簧的两个自由端分别固定在连接板和限位块上，限位块的外侧安装有电磁铁，电磁铁铁芯穿过限位块连接到连接板，限位块上开设有通孔，通孔与定位柱同轴且直径大于定位柱直径。本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜用基片载架夹持装置，用于在真空镀膜过程中自动化地取放基片载架，提高真空镀膜效率。 |
