一种连续可调渐变色真空电子枪镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN202022559120.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213507166U | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN213507166U | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | C23C14/30（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李健;孙宏宇;邓天容 | 申请（专利权）人 | 江西华派光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 341800江西省赣州市全南县工业园二区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开了一种连续可调渐变色真空电子枪镀膜装置，包括镀膜机腔体，镀膜机腔体上方设有镀膜伞具，镀膜机腔体下方设有蒸发源，所述伞具上安装有倾斜治具，所述倾斜治具包括固定在镀膜伞具上的固定块，固定块下方安装着基片载板，基片载板具有绕固定块转动的自由度，基片载板的另一端设有连接块，连接块上连接着角度调节杆，角度调节杆具有绕连接块转动的自由度，镀膜伞具上开设有通孔，角度调节杆的另一端穿过通孔伸出到镀膜伞具的背面，角度调节杆的伸出端安装有限位螺母。本实用新型的目的在于提供一种可以灵活调节渐变色范围的真空电子枪镀膜装置，其结构简单、易操作。 |
