一种真空镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN202022553967.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213507180U | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN213507180U | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李健;孙宏宇;邓天容 | 申请（专利权）人 | 江西华派光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 341800江西省赣州市全南县工业园二区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜装置，包括真空镀膜腔和镀膜腔盖，真空镀膜腔底部设有蒸发源，所述镀膜腔盖位于真空镀膜腔上方，镀膜腔盖底部安装有基片载架夹持装置，镀膜腔盖的左侧固定在支撑板上，支撑板的下方连接着第一升降机构，支撑板的上方设有电机支架，电机支架上安装着转动电机，转动电机输出轴连接到镀膜腔盖。本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜装置，用于提高真空镀膜效率，节约人力成本。 |
