一种低串扰的硅光子波分复用器
基本信息
| 申请号 | CN201910035888.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109669238A | 公开（公告）日 | 2019-04-23 |
| 申请公布号 | CN109669238A | 申请公布日 | 2019-04-23 |
| 分类号 | G02B6/12（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 方青; 陈晓铃; 顾苗苗; 陈华; 张志群 | 申请（专利权）人 | 熠谱（上海）半导体制造有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种低串扰的硅光子波分复用器，属于半导体光信号传输技术领域。该低串扰的硅光子波分复用器，从下至上包括晶圆的衬底、晶圆的埋氧层、波导层和波导的SiO2上包层，所述波导层分别为微环谐振滤波器110（MRR）、传输波导120和阵列波导光栅130（AWG），微环谐振滤波器110通过传输波导120与阵列波导光栅130相连。本发明通过在硅光AWG输入端增加微环谐振滤波器进行滤波，对波长调谐系统进行操作，调节微环谐振滤波器的谐振波长，使谐振波长与硅光AWG对应波长进行匹配，对所需波长信号进行进一步滤波实现低串扰特性，有效解决硅光AWG器件串扰性能不佳的问题。 |
