一种基于硅基光电探测器的生化传感系统
基本信息
| 申请号 | CN201821727962.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209296572U | 公开（公告）日 | 2019-08-23 |
| 申请公布号 | CN209296572U | 申请公布日 | 2019-08-23 |
| 分类号 | G01N21/45（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 方青; 陈晓铃; 胡娟; 顾苗苗; 张志群 | 申请（专利权）人 | 熠谱（上海）半导体制造有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种基于硅基光电探测器的生化传感系统，属于半导体光信号传输技术领域。该基于硅基光电探测器的生化传感系统，包括光源、从下至上的SOI晶片的衬底、SOI晶片的埋氧层、硅层和SiO2上包层，所述硅层包括输入波导、传感元件、传输波导、示踪元件、输出波导以及探测器，光源输出端通过输入波导与传感元件输入端相连，传感元件输出端通过传输波导与示踪元件输入端相连，示踪元件输出端通过输出波导与探测器相连，输入波导、传感元件、传输波导、示踪元件、输出波导以及探测器外层设有SiO2上包层。本系统通过硅光子生化系统并设置硅基光电探测器，可以有效解决生化传感系统器件复杂和光谱仪昂贵的问题。 |
