一种基于多层波导材料结构的端面耦合器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202210336130.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114624821A | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN114624821A | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | G02B6/30（2006.01）I;G02B6/42（2006.01）I;G02B6/12（2006.01）I;G02B6/122（2006.01）I;G02B6/13（2006.01）I;G02B6/132（2006.01）I;G02B6/136（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 方青;马晓悦;邓卫;李斌;刘庆 | 申请（专利权）人 | 熠谱（上海）半导体制造有限公司 |
| 代理机构 | 昆明隆合知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及基于多层波导材料结构的端面耦合器及其制备方法，本发明通过衬底层、埋氧层、第一波导层、第一隔离层、第二波导层、第二隔离层、第三波导层、上包层从下到上依次设置而成；第一波导层为两根输入S形波导和一根输出波导；输入S形波导由输入锥形波导、输入直波导、S形弯曲波导、输入直波导和输出锥形波导依次连接构成；输出波导由输入锥形波导、输入直波导和输出锥形波导依次连接构成；第三波导层的波导结构与第一波导层的波导结构相同，两层结构中对应波导结构在垂直方向对齐；第二波导层含有一根输出波导由输入锥形波导和输出直波导依次连接构成。本发明能实现光纤或激光器与纳米线波导进行耦合，增加了对准容差，提高了耦合效率。 |
